Шарҳи мухтасари фоторезист
Фоторезист, ки бо номи фоторезист низ маълум аст, ба маводи плёнкаи тунук ишора мекунад, ки ҳалшавандагии он ҳангоми дучор шудан ба нури ултрабунафш, шуоъҳои электронӣ, шуоъҳои ионӣ, шуоъҳои рентгенӣ ё дигар радиатсия тағйир меёбад.
Он аз қатрон, фотоинитилятор, ҳалкунанда, мономер ва дигар иловаҳо иборат аст (нигаред ба Ҷадвали 1). Қатрони фоторезист ва фотоинитилятор муҳимтарин ҷузъҳо мебошанд, ки ба кори фоторезист таъсир мерасонанд. Он ҳамчун рӯйпӯши зидди зангзанӣ ҳангоми раванди фотолитография истифода мешавад.
Ҳангоми коркарди сатҳҳои нимноқил, истифодаи фоторезисти мувофиқи интихобӣ метавонад тасвири дилхоҳро дар сатҳ эҷод кунад.
Ҷадвали 1.
| Компонентҳои фоторезист | Иҷрои кор |
| Ҳалкунанда | Он фоторезистро моеъ ва ноустувор мегардонад ва ба хосиятҳои кимиёвии фоторезист қариб ҳеҷ таъсире надорад. |
| Фотоинициатор | Он инчунин бо номи фотосенсибилизатор ё агенти фотоқатъкунанда маълум аст, ҷузъи фотоҳассос дар маводи фоторезист мебошад. Ин як навъи пайвастагиест, ки пас аз ҷабби энергияи ултрабунафш ё нури намоёни дарозии мавҷи муайян метавонад ба радикалҳо ё катионҳои озод таҷзия шавад ва дар мономерҳо реаксияҳои салибпайвандии кимиёвиро оғоз кунад. |
| Қатрон | Он полимерҳои инертӣ буда, ҳамчун пайвандкунанда барои нигоҳ доштани маводҳои гуногун дар фоторезист амал мекунад ва ба фоторезист хосиятҳои механикӣ ва химиявии онро медиҳад. |
| Мономер | Он инчунин ҳамчун ҳалкунандаҳои фаъол маълум аст, молекулаҳои хурде мебошанд, ки гурӯҳҳои функсионалии полимершаванда доранд ва пайвастагиҳои вазни молекулавии паст мебошанд, ки метавонанд дар реаксияҳои полимеризатсия барои ташкили қатронҳои вазни молекулавии баланд иштирок кунанд. |
| Илова | Он барои назорат кардани хосиятҳои кимиёвии мушаххаси фоторезистҳо истифода мешавад. |
Фоторезистҳо вобаста ба тасвире, ки онҳо ташкил медиҳанд, ба ду категорияи асосӣ тақсим мешаванд: мусбат ва манфӣ. Дар раванди фоторезист, пас аз таъсир ва таҳия, қисмҳои фошшудаи рӯйпӯш ҳал мешаванд ва қисмҳои фошнашуда боқӣ мемонанд. Ин рӯйпӯш фоторезисти мусбат ҳисобида мешавад. Агар қисмҳои фошшуда ҳангоми ҳал шудани қисмҳои фошнашуда боқӣ монанд, рӯйпӯш фоторезисти манфӣ ҳисобида мешавад. Вобаста ба манбаи рӯшноӣ ва манбаи радиатсия, фоторезистҳо минбаъд ба ултрабунафш (аз ҷумла фоторезистҳои ултрабунафши мусбат ва манфӣ), фоторезистҳои ултрабунафши амиқ (DUV), фоторезистҳои рентгенӣ, фоторезистҳои шуоъи электронӣ ва фоторезистҳои шуоъи ионӣ тақсим карда мешаванд.
Фоторезист асосан дар коркарди нақшҳои нозук дар панелҳои дисплей, схемаҳои интегралӣ ва дастгоҳҳои нимноқилҳои дискретӣ истифода мешавад. Технологияи истеҳсоли фоторезист мураккаб буда, намудҳои гуногуни маҳсулот ва хусусиятҳои онро дар бар мегирад. Истеҳсоли схемаҳои интегралии саноати электроника талаботи сахтро ба фоторезисти истифодашаванда муқаррар мекунад.
Ever Ray, истеҳсолкунанда бо 20 соли таҷрибаи корӣ дар истеҳсол ва таҳияи қатронҳои фотокурсишаванда, дорои иқтидори истеҳсолии солонаи 20,000 тонна, хатти ҳамаҷонибаи маҳсулот ва қобилияти фармоиш додани маҳсулот мебошад. Дар фоторезист, Ever Ray ҳамчун ҷузъи асосӣ қатрони 17501 дорад.
